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18BF-4M9L精密雙面平面研磨機/ 18BF-4M9P精密雙面平面拋光機

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產品名稱

18BF-4M9L精密雙面平面研磨機/ 18BF-4M9P精密雙面平面拋光機

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產品描述
一、主要用途
主要用于藍寶石、藍玻璃、陶瓷片、晶體、半導體及其他硬脆材料的高精度雙面研磨拋光,尤其對于超薄工件的加工具有明顯的優勢。
 
二、產品特點
1、壓力精密控制:PLC+PT+電氣比例閥+低摩擦氣缸實現高精度壓力閉環控制;
2、上盤減震裝置:動靜態均適用的減震彈性連接方式;
3、下盤支撐:高精度平面流體軸承支撐;
4、銷齒傳動:內外齒采用銷齒傳動,延長載體使用壽命,維護便捷;
5、上、下盤水冷系統:上、下盤采用水冷結構,進行溫度控制實現大壓力加工;
6、上盤壓力:最大1000kg;
7、傳動系統:四電機同步拖動,上下盤、內齒、外齒、(即可正轉,也可反轉)轉速可任意設定,縣有配方功能。
 
三、技術參數
 
序號 項目 規格參數
1 下盤 尺寸 Φ1252mm×Φ708mm×90mm(研磨)
Φ12660mm×Φ700mm×90mm(拋光)
轉速 5-70 rpm
驅動電機 15kW AC380V 50Hz 1460rpm
2 上盤 尺寸 Φ1252mm×Φ708mm×90mm(研磨)
Φ1260mm×Φ700mm×90mm(拋光)
轉速 3-40 rpm
驅動電機 11kW AC380V 50Hz 1460rpm
3 游星輪 參數 節距:15.7 Z=64
數量 9個
4 太陽輪 轉速 3-35 rpm
驅動電機 2.2kW AC380V 50Hz 1400rpm
5 齒圈 轉速 3-35 rpm
驅動電機 4kW AC380V 50Hz 1400rpm
升降電機 0.75kW AC380V 50Hz 1400rpm
升降行程 30mm
6 精度指標 上、下盤平面度 ≤0.02mm
下盤端跳 ≤0.03mm
7 加工范圍 最大加工尺寸 Φ280mm
最小加工厚度 0.20mm(≤2"片)
整盤承載量 18×9=162片(2" 圓片)
8 水源   純水或自來水
9 電源 功率 34kW AC380V 50Hz
線纜規格 三相五線刮.3×10mm2+2×6mm2
10 氣源 壓力 壓縮空氣源0.5-0.6Mpa
接管口徑 接口Φ10mm(外徑)
11 外形尺寸   長×寬×高:2100mm×1600mm×3013mm(含地腳80)
12 重量   約7500Kg

 

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